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利用深层掩埋Ｔｉ－Ｗ自加热结构产生了沿金属化条长方向的温度梯度，通过电阻测温法精确测定实验条上的温度分布，从电迁徙平均失效时间、ＳＥＭ分析等角度，研究了温度梯度对电迁徙的影响。实验发现，选择合适的工艺条件可保证电阻测温法的稳定性；温度梯度的不同取向对电迁徙平均失效时间存在较大影响，逆向温度梯度可极大地提高金属化的抗电迁徙寿命。