稀土烧结助剂对低介电多孔氮化硅陶瓷的性能影响

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【摘要】

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以CeO2,Y2O3和Yb2O3为烧结助剂,通过造粒、冷等静压成型和气氛压力烧结成功制备出介电常数ε低于3.0的氮化硅透波材料.伴随稀士氧化物烧结助剂量提高,材料介电性能不断下降,

【作者】

：

刘文彬丁艳邹景良徐鹏王芳香杜洪兵张伟儒李玉莹

【机构】

：

北京中材人工晶体研究院有限公司,中国航天科工集团第二研究院25所

【出处】

：

材料工程

【发表日期】

：

2004年期

【关键词】

：

多孔氮化硅稀土烧结助剂介电常数弯曲强度

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以CeO2,Y2O3和Yb2O3为烧结助剂,通过造粒、冷等静压成型和气氛压力烧结成功制备出介电常数ε低于3.0的氮化硅透波材料.伴随稀士氧化物烧结助剂量提高,材料介电性能不断下降,在7％时略有回升.含CeO2试样强度低于30MPa,而有Yb2O3的试样强度最高.通过XRD检测和SEM观察,发现其β相转化程度最高、长径比最大.

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