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分析了改进表面分流型二维位置敏感探测器（PSD）的工作原理及信号调理电路，针对PSD位置检测误差大的缺点，设计了利用万能工具显微镜进行标定的实验系统，运用误差理论对传感器在A区和B区的X向及Y向位置测试数据进行了校正。实验结果表明：应用这种校正方法，可减少PSD的位置检测误差，其中，A区位置检测误差可减少到±0．02mm。