【摘 要】
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把光学非接触、高精度的测试技术与电子图像细分(像素)技术相结合,把光电检测方法和计算机数字图象处理方法相结合,研制了显微CCD微机系统,编制了VC++测试和控制软件。利用该
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把光学非接触、高精度的测试技术与电子图像细分(像素)技术相结合,把光电检测方法和计算机数字图象处理方法相结合,研制了显微CCD微机系统,编制了VC++测试和控制软件。利用该系统,实现了微小物体的非接触、高精度、自动测试,解决了微米加工技术中微小物体的尺寸测试问题。作为实例,测试了玻璃微珠(半径17～31 m)的球度。实验表明,通过增大测量显微物镜的放大倍率(例如10倍),测试系统可以满足1的精度要求。
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