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介绍了目前国际上厚膜混合工艺技术的动态,指出了低温共烧陶瓷技术(LTCC)是MCM-C发展的重要趋势.探讨了国内MCM-C技术的现状,认为必须同IC技术保持紧密的联系,才能得到良好的发展.
低温陶瓷共烧技术——MCM-C发展新趋势
【摘 要】
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介绍了目前国际上厚膜混合工艺技术的动态,指出了低温共烧陶瓷技术(LTCC)是MCM-C发展的重要趋势.探讨了国内MCM-C技术的现状,认为必须同IC技术保持紧密的联系,才能得到良好的
【机 构】
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信息产业部
【出 处】
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微电子学
【发表日期】
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2002年4期
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