直流脉冲电泳沉积法制备TiN涂层的研究

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为解决电泳沉积过程中的水分解问题,采用直流脉冲电泳沉积法制备304不锈钢负载型TiN涂层,探究涂层的形成规律,并利用扫描电子显微镜(SEM)、X射线衍射(XRD)及辉光放电光谱(GDS)等检测手段对TiN涂层的形貌、物相及成分进行了表征。结果表明,采用直流脉冲电压可以减弱水电解对TiN涂层带来的负面影响;脉冲电压频率对涂层的形貌及沉积速率有重要影响,在5~30Hz频率范围,可形成较为均匀致密的TiN涂层,且TiN的沉积速率随频率的增大而逐渐减小;在TiN涂层与不锈钢基体间的界面处,各元素含量均随深度的变化
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