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固体激光器中，增益介质由于热沉积产生的热畸变严重影响了激光器的稳定性和输出功率以及光束质量。为了补偿激光器腔内畸变，采用了一种利用变形反射镜作为内腔反射镜的方法，运用静电力作用于变形薄膜反射镜，来改变谐振腔的结构。从外部引入一束参考光通过激光腔，利用波前探测器可测得腔内畸变对参考光的影响，并利用变形反射镜校正此畸变。实验结果表明，该方法能对腔内畸变进行有效的补偿，提高激光器的输出功率及光束质量。