【摘 要】
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在电真空器件的制造过程中，不规则零件的镀镍是关键步骤之一。采用阴极移动技术在不规则零件表面沉积了镀镍层。利用x射线荧光仪、激光共聚扫描显微镜、弯曲阴极法研究了阴极
【基金项目】
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国家自然科学基金项目(11375155);中国工程物理研究院电子工程研究所创新基金项目
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在电真空器件的制造过程中，不规则零件的镀镍是关键步骤之一。采用阴极移动技术在不规则零件表面沉积了镀镍层。利用x射线荧光仪、激光共聚扫描显微镜、弯曲阴极法研究了阴极移动对镀层沉积率、表面形貌、孔隙率和内应力等的影响。结果表明：当阴极移动速率在1．5m／min以上时，可以明显降低不规则零件的针孔现象，但无法完全消除；阴极移动不会影响不规则零件的电沉积速率，但会使镀层的结晶颗粒变大，导致零件表面粗糙度增大；阴极移动可以显著地降低镀层的孔隙率和镀层的内应力，但是与移动的速率关系不大。
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