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用剥离技术制备MEMS金属电极
用剥离技术制备MEMS金属电极
来源 :集成电路通讯 | 被引量 : 0次 | 上传用户:xiaodixi000
【摘 要】
:
研究了用剥离技术制备MEMS金属电极的工艺技术。结果表明,用剥离技术可以制备10μm以上线宽的金属电极,且图形完整均匀、无损伤。这是目前制作MEMS金属电极的一种较好方法。
【作 者】
:
余飞
【机 构】
:
中国兵器工业第214研究所
【出 处】
:
集成电路通讯
【发表日期】
:
2010年1期
【关键词】
:
剥离技术
MEMS金属电极
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研究了用剥离技术制备MEMS金属电极的工艺技术。结果表明,用剥离技术可以制备10μm以上线宽的金属电极,且图形完整均匀、无损伤。这是目前制作MEMS金属电极的一种较好方法。
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