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化学气相沉积(CVD)金刚石的主要晶体缺陷为孪晶、层错和位错.杂质主要有非晶碳、石墨和氢等.文中对上述晶体缺陷及杂质的研究进行了回顾:这些缺陷和杂质可以存在于晶内或者晶界;缺陷密度、杂质含量与化学气相沉积的沉积条件有很大关系;一般缺陷密度和杂质含量随甲烷浓度的增加而增加;杂质的存在也直接影响金刚石晶体缺陷的形成;并对CVD金刚石的五次孪晶的研究作了总结.这对以后CVD金刚石的晶体学研究具有较大的指导意义.