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光学表面的变形包含刚体位移和表面畸变,它们将对光学系统的成像质量产生不同的影响。通过数值方法可以求得刚体位移,但还没有专门的可视化软件对镜面面形情况进行仿真分析。提出了镜面面形的可视化仿真方法,它利用Zernike多项式与Seidel象差之间的对应关系,对有限元数据进行后处理,并采用PV值和RMS等数值解、表面畸变云图及理论干涉图等形式对镜面面形进行模拟。利用VC++和OpenGL混合编程实现了光学表面面型的计算机仿真系统。仿真试验和实际应用表明了方法的可行性及其在光机集成有限元分析中的重要作用。