【摘 要】
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本文介绍多晶硅高盐水的处理工艺及特点,总结了除硅、脱碳、MVR蒸发、三效蒸发等工序的运行情况,提出了多晶硅高盐水处理的工艺控制参数。
【机 构】
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自贡市轻工业设计研究院有限责任公司
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本文介绍多晶硅高盐水的处理工艺及特点,总结了除硅、脱碳、MVR蒸发、三效蒸发等工序的运行情况,提出了多晶硅高盐水处理的工艺控制参数。
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