论文部分内容阅读
<正> 靶室是离子注入机的关键部件之一,它对于提高注入机的注入速度、注入质量以及使注入机能开展多方面的实验研究,都有一定的影响。我厂研制的T45 200—1/ZK型微控中束流离子注入机靶室是仿日本真空技术株式会社200—DF_4型离子注入机而设计的一种木马式连续注入靶室。下面就该靶室总体情况作简要介绍。