【摘 要】
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应变工程技术被认为是将摩尔定律延伸的关键技术之一,目前该领域的发展主要从器件的材料、结构、工艺三个方面进行解决,其中,以工艺改进的发展最为迅猛。本文从专利技术方面
【机 构】
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国家知识产权局专利局专利审查协作湖北中心,
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应变工程技术被认为是将摩尔定律延伸的关键技术之一,目前该领域的发展主要从器件的材料、结构、工艺三个方面进行解决,其中,以工艺改进的发展最为迅猛。本文从专利技术方面分析应变工程技术提高半导体MOSFET集成度的发展趋势。
Strain engineering technology is considered as one of the key technologies to extend Moore’s Law. At present, the development in this area is mainly solved from three aspects of material, structure and technology of the device. Among them, the process improvement is the most rapid development. This article analyzes the development tendency of the integration technology of semiconductor MOSFET with strain engineering technology from the patented technology.
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