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用于倒装芯片的铜球凸点制作技术研究
用于倒装芯片的铜球凸点制作技术研究
来源 :潍坊学院学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:huanghuimin1224
【摘 要】
:
本文对应用于倒装芯片的铜丝键合法制作铜球凸点的技术进行详细的研究,并对铜球凸点金属间化合物的形貌进行了研究,同时对其剪切断裂载荷和失效模式进行了分析。
【作 者】
:
于金伟
游风勇
【机 构】
:
潍坊学院,潍坊市留学人员回国工作办公室
【出 处】
:
潍坊学院学报
【发表日期】
:
2011年4期
【关键词】
:
倒装芯片
铜球凸点
氮气保护
剪切断裂载荷
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本文对应用于倒装芯片的铜丝键合法制作铜球凸点的技术进行详细的研究,并对铜球凸点金属间化合物的形貌进行了研究,同时对其剪切断裂载荷和失效模式进行了分析。
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