Numerical Analysis of Silicon Micromachined Gas Pendulum Tilt Sense Organ Temperature Field

来源 :稀有金属材料与工程 | 被引量 : 0次 | 上传用户：sharapova60

【摘要】

：

<正>An analysis of the sensitive mechanism of silicon micromachined gas pendulum tilt sense organ is made.Adopting the method of FEA (finite element analysis),t

【作者】

：

Linhua Piao Bin Zhang Yaojie L

【机构】

：

SensorsElectronicsInstitute

【出处】

：

稀有金属材料与工程

【发表日期】

：

2006年A03期

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<正>An analysis of the sensitive mechanism of silicon micromachined gas pendulum tilt sense organ is made.Adopting the method of FEA (finite element analysis),the temperature field at two points heat source,when the two-dimensional enclosure was incl

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