【摘 要】
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微型加速度计是一种新型的加速度计,它采用固体集成电路的微加工技术,将加速度计的敏感元件及其电子线路集成在一块硅片上,或者分别集成,然后封装在一起。美国EG&GIC Sensor
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微型加速度计是一种新型的加速度计,它采用固体集成电路的微加工技术,将加速度计的敏感元件及其电子线路集成在一块硅片上,或者分别集成,然后封装在一起。美国EG&GIC Sensors公司生产的3255型加速度计就是
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