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期刊论文
激光合成特殊性能薄膜的新方法
激光合成特殊性能薄膜的新方法
来源 :光电子.激光 | 被引量 : 0次 | 上传用户:sgjies
【摘 要】
:
本文主要介绍国内外激光技术在合成金刚石薄膜、立方氮化硼薄膜、超导薄膜、半导体薄膜等的最新方法.
【作 者】
:
潘俊德
范本惠
郑维能
李城明
李钰
【机 构】
:
太原工业大学离子渗金属及热处理研究所,太原工业大学基础部
【出 处】
:
光电子.激光
【发表日期】
:
1990年5期
【关键词】
:
激光合成
金刚石
氮化硼
超导
薄膜
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本文主要介绍国内外激光技术在合成金刚石薄膜、立方氮化硼薄膜、超导薄膜、半导体薄膜等的最新方法.
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