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用热蒸发法和磁控离子射频溅射法制备了ＺｎＳ薄膜，利用Ｘ射线衍射技术对据 薄膜的结构相特性进行了研究，为研制高效的光电材料提供依据。
硫化锌薄膜的结构分析
【摘 要】
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用热蒸发法和磁控离子射频溅射法制备了ＺｎＳ薄膜，利用Ｘ射线衍射技术对据 薄膜的结构相特性进行了研究，为研制高效的光电材料提供依据。
【机 构】
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厦门大学物理学系
【出 处】
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电子器件
【发表日期】
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1997年1期
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