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基于锁相循环投影的三维曲面光学检测
基于锁相循环投影的三维曲面光学检测
来源 :半导体光电 | 被引量 : 0次 | 上传用户:zjflxj
【摘 要】
:
由一组规则栅线投影到物体表面的变化光栅,采用锁相循环解调算法解调出含有物体表面高度信息的相位。该技术的最大优势是不需传统的相位去包裹,利用该算法对二维栅线图扫描确定
【作 者】
:
高建华
周灿林
【机 构】
:
山东工业大学数理系
【出 处】
:
半导体光电
【发表日期】
:
2000年4期
【关键词】
:
三维形貌检测
锁相循环投影
光学检测
D surface contouring phase measurement profilometry of projec
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由一组规则栅线投影到物体表面的变化光栅,采用锁相循环解调算法解调出含有物体表面高度信息的相位。该技术的最大优势是不需传统的相位去包裹,利用该算法对二维栅线图扫描确定相位,给出了一个典型试件的实验结果和分析。
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