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通过对ITO镀膜设备气室门阀阀板的结构进行改进，解决了实际生产中真空室密封性能差、阀板使用寿命短、产品质量不稳定等一系列问题。改进要点是在主动、从动阀板上增加设计了冷却水循环水道。
ITO镀膜设备气室门阀阀板的改进设计
【摘 要】
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通过对ITO镀膜设备气室门阀阀板的结构进行改进，解决了实际生产中真空室密封性能差、阀板使用寿命短、产品质量不稳定等一系列问题。改进要点是在主动、从动阀板上增加设计了
【机 构】
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安徽方兴科技股份有限公司
【出 处】
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玻璃
【发表日期】
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2012年2期
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