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期刊论文
ITO镀膜设备气室门阀阀板的改进设计
ITO镀膜设备气室门阀阀板的改进设计
来源 :玻璃 | 被引量 : 0次 | 上传用户:whhdgcr
【摘 要】
:
通过对ITO镀膜设备气室门阀阀板的结构进行改进,解决了实际生产中真空室密封性能差、阀板使用寿命短、产品质量不稳定等一系列问题。改进要点是在主动、从动阀板上增加设计了
【作 者】
:
刘月豹
汪奇
王成雷
王共志
张红
朱旺根
【机 构】
:
安徽方兴科技股份有限公司
【出 处】
:
玻璃
【发表日期】
:
2012年2期
【关键词】
:
ITO导电玻璃
真空室
阀板
气密性
ITO conductive glass
vacuum chamber
valve plate
tighteness
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通过对ITO镀膜设备气室门阀阀板的结构进行改进,解决了实际生产中真空室密封性能差、阀板使用寿命短、产品质量不稳定等一系列问题。改进要点是在主动、从动阀板上增加设计了冷却水循环水道。
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