论文部分内容阅读
在双极型集成电路的隔离扩散时，发现隔离槽内产生一种“咖啡色的染色”现象，针对这一现象开展了实验研究，对产生“染色”的机理进行了探讨并提出解决“染色”的工艺方法。
隔离扩散“染色”现象的研究
【摘 要】
：
在双极型集成电路的隔离扩散时，发现隔离槽内产生一种“咖啡色的染色”现象，针对这一现象开展了实验研究，对产生“染色”的机理进行了探讨并提出解决“染色”的工艺方法。
【机 构】
：
中国兵器工业第214研究所
【出 处】
：
集成电路通讯
【发表日期】
：
2010年2期
其他文献
随着无线网络技术的快速发展和传感器技术的日益成熟，无线传感器网络应运而生。无线传感器网络就是由部署在监测区域内大量的廉价微型传感器节点组成，通过无线通信方式形成的一
在LTCC基板上制作主导体层金属导带是MCM—C／D上实现薄膜多层布线关键技术之一。由于铜具有最高的导电率和高的导热率，且价格便宜、易于加工、抗电迁移性好，所以是最常用的主导
以三角波实例，介绍了MATLAB软件在QuartusⅡ仿真功能方面的具体应用。通过具体文件的建立以及仿真的运行，验证了MATLAB对QuartusⅡ复杂仿真功能增强的必要性。
某型号大功率三极管广泛使用于各种电子电路中，其特点为击穿电压高，工作电流大，但饱和压降小，使得该三极管饱和压降参数的中测测试难度极大。通过对测试技术的改进，实现了大电流条
介绍RFMEMS开关的基本工艺流程的设计，工艺制作技术的研究，实验解决了种子层技术、聚酰亚胺牺牲层技术、微电镀技术的工艺难题，制作出了RFMEMS开关样品。RFMEMS开关样品技术指标
按照敏感原理，MEMS加速度传感器一般被分为压阻式、压电式、谐振器式、电容式、热电偶式、光纤式和电磁式等等，其中压阻式加速度传感器以动态响应特性及输出线性度较好、制作成
介绍了双面PSD器件的结构原理及其制作技术。重点介绍了双面对准技术，解决了双面PSD器件的工艺难题，研制出了灵敏度高、线性度好的双面PSD器件，为双面PSD器件的制作提供一条工艺
据物理学家组织网报道，美国与澳大利亚科学家成功制造出世界上最小的晶体管——由7个原子在单晶硅表面构成的一个“量子点”，标志着我们向计算能力的新时代迈出了重要一步。量