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提出一种由压电晶片驱动的新结构微型泵，选用悬臂梁式单向阀，并采用迭片技术。在实验室中设计、制作了实验样机，其中重要件如泵体和金属单向阀片均通过精密机械加工工艺制作而成。通过系统的实验测试和研究得出了许多有益的实验结果：工作性能稳定，整机具有较高的体积功能比（样机尺寸：Ф15mm×1．8mm；50V正弦信号输入，80Hz条件下，流量达到3．6mL／min，最大输出压力22kPa；微泵的自身泵送频率fsp达到12．4）。同时也提出了利用多腔体串联结构提高压电泵性能的优化设计方案。设计方法及所用制作工