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一种新型测量平直度的干涉测量系统已开发问市，该系统采用三棱镜产生两束会聚光线。一个平直度反射器把会聚光线沿它们各自的光路反射回去，以形成组合光线。探测系统接收组合光线以数出干涉条纹，与传统的平直度反射器不同，这种新的平直度反射器不但具备反射面，而且还具备折射面，当三棱镜和平直度反射器之间产生相对横向位移时，该折射面引起光程差（OPD）的变化，本文还将推导光程差（OPD）与横向位移之间存在的关系，预期结果与实验结果完全一样，在120nm的行程中，平直度的测量精度为0．1μm.