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为实现高效连续自动化生产,满足大规模工业化生产需求,研发设计了一种干法等离子体刻蚀机的新型装载腔,可实现3盘、6盘或更多盘数晶片的不间断连续自动化刻蚀,提高了生产效率。
一种干法刻蚀机的新型装载腔设计
【摘 要】
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为实现高效连续自动化生产,满足大规模工业化生产需求,研发设计了一种干法等离子体刻蚀机的新型装载腔,可实现3盘、6盘或更多盘数晶片的不间断连续自动化刻蚀,提高了生产效率
【机 构】
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天通吉成机器技术有限公司
【出 处】
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制造技术与机床
【发表日期】
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2013年3期
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