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期刊论文
一种干法刻蚀机的新型装载腔设计
一种干法刻蚀机的新型装载腔设计
来源 :制造技术与机床 | 被引量 : 0次 | 上传用户:antoney
【摘 要】
:
为实现高效连续自动化生产,满足大规模工业化生产需求,研发设计了一种干法等离子体刻蚀机的新型装载腔,可实现3盘、6盘或更多盘数晶片的不间断连续自动化刻蚀,提高了生产效率
【作 者】
:
张钦亮
苏静洪
王谟
平志韩
雍春娥
祝启蒙
金志杰
【机 构】
:
天通吉成机器技术有限公司
【出 处】
:
制造技术与机床
【发表日期】
:
2013年3期
【关键词】
:
干法刻蚀机
装载腔
自动化
Dry EtcherLoad LockAutomatic
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为实现高效连续自动化生产,满足大规模工业化生产需求,研发设计了一种干法等离子体刻蚀机的新型装载腔,可实现3盘、6盘或更多盘数晶片的不间断连续自动化刻蚀,提高了生产效率。
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