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Interbay物料运输系统的运行效率对晶圆制造系统的影响较大。为减少运输小车平均搬运工件时间、晶圆工件的等待时间和运输小车的临时性堵塞，提出一种基于匈牙利算法的实时调度方法，并建立工件调度模型。基于300mm晶圆制造系统数据的仿真结果表明，与传统的Interbay物料运输调度方法相比，该方法能有效提高Interbay物料运输系统的综合性能。