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降低晶体管h_FE值的电子束辐照工艺的研究
降低晶体管h_FE值的电子束辐照工艺的研究
来源 :核技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户:xiade522
【摘 要】
:
研究了辐照剂量、剂量率、退火温度、退火时间、辐照方法等因素对晶体管hFE值(电流放大倍数)的影响。结果表明,电子束辐照能有效地降低晶体管hFE值,并能通过退火处理使其稳定。
【作 者】
:
王中央
陈祖良
刘亚建
章月红
陈祖林
施建青
傅建新
尹南
【机 构】
:
浙江省技术物理应用研究所,浙江省广播电视工业公司
【出 处】
:
核技术
【发表日期】
:
1994年4期
【关键词】
:
电子束
辐照
晶体管
电流放大倍数
Electron beam
Irradiation
Transistors
h_(FE) value
Anneali
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研究了辐照剂量、剂量率、退火温度、退火时间、辐照方法等因素对晶体管hFE值(电流放大倍数)的影响。结果表明,电子束辐照能有效地降低晶体管hFE值,并能通过退火处理使其稳定。
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