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本文介绍了激光检测系统中实现微尺寸检测和控制的方法，该系统利用微处理控制，由专用芯片驱动混合式步进电机控制十字型位移光学导轨，采用电流细分技术实现微尺寸的高精度检测。
激光检测系统的微尺寸测量和控制
【摘 要】
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本文介绍了激光检测系统中实现微尺寸检测和控制的方法，该系统利用微处理控制，由专用芯片驱动混合式步进电机控制十字型位移光学导轨，采用电流细分技术实现微尺寸的高精度检测。
【机 构】
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南昌航空工业学院
【出 处】
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激光杂志
【发表日期】
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1999年4期
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