【摘 要】
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本文介绍了激光检测系统中实现微尺寸检测和控制的方法,该系统利用微处理控制,由专用芯片驱动混合式步进电机控制十字型位移光学导轨,采用电流细分技术实现微尺寸的高精度检测。
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本文介绍了激光检测系统中实现微尺寸检测和控制的方法,该系统利用微处理控制,由专用芯片驱动混合式步进电机控制十字型位移光学导轨,采用电流细分技术实现微尺寸的高精度检测。
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