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直接敷铜Ａｌ２Ｏ３基板已被广泛应用于大功率场合。本文通过Ｃｕ箔表面预氧化生成Ｃｕ２Ｏ的方法引入氧，１０７０℃在Ｃｕ箔和Ａｌ２Ｏ３基板界面上所产生的Ｃｕ－Ｃｕ２Ｏ共晶液体促进了二者的牢固结合，流动氮气氛下保温１ｈ，观察到了明显的界面产物层。ＳＥＭ和ＸＲＤ的分析表明，界面产物相为ＣｕＡｌＯ２。
直接敷铜Al2O3陶瓷基板的界面产物研究
【摘 要】
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直接敷铜Ａｌ２Ｏ３基板已被广泛应用于大功率场合。本文通过Ｃｕ箔表面预氧化生成Ｃｕ２Ｏ的方法引入氧，１０７０℃在Ｃｕ箔和Ａｌ２Ｏ３基板界面上所产生的Ｃｕ－Ｃｕ２Ｏ共晶液体促进了二者的牢固结合，流动氮气氛下保温１ｈ，观察到了明显的界
【机 构】
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清华大学材料科学与工程系新型陶瓷与精细工艺国家重点实验,清华大学材料科学与工程系新型陶瓷与精细工艺国家
【出 处】
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无机材料学报
【发表日期】
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2000年5期
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