【摘 要】
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本文根据金属有机物化学气相沉积（ＭＯＣＶＤ）系统的原理和特点，建立了计算机自动控制的热壁低压ＭＯＣＶＤ系统。我们首次采用热壁低压ＭＯＣＶＤ方法在制备高质量薄膜的同时，制备出了纳米微粉。
According to
【机 构】
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西安交通大学精细功能电子材料与器件国家专业实验室
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本文根据金属有机物化学气相沉积（ＭＯＣＶＤ）系统的原理和特点，建立了计算机自动控制的热壁低压ＭＯＣＶＤ系统。我们首次采用热壁低压ＭＯＣＶＤ方法在制备高质量薄膜的同时，制备出了纳米微粉。
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