【摘 要】
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2001010001用于集成微电机械系统设计的计算机辅助设计=CADfor integrated MEMS design [英]/MukherjeeT … //Proc. SPIE.-2000,4019. -3-14
2001010001 Computer Aided De
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2001010001用于集成微电机械系统设计的计算机辅助设计=CADfor integrated MEMS design [英]/MukherjeeT … //Proc. SPIE.-2000,4019. -3-14
2001010001 Computer Aided Design for Integrated MEMS Design = CADfor integrated MEMS design [English] / MukherjeeT ... // Proc. SPIE.-2000,4019. -3-14
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