【摘 要】
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准分子激光是大功率输出的深紫外波段激光光源，在多方面具有独特的应用，然而国内的准分子激光行业在关键技术、高端产品等方面和国外仍有一定差距，存在着“卡脖子”的状况。本文首先介绍了准分子激光的基本特性、应用分类、国内外的发展情况等；其次着重介绍了放电泵浦准分子激光的基本结构和目前实用器件的多项关键技术，主要包括快脉冲激励源、气体放电腔、光学谐振腔等几个方面；最后，文章介绍了放电泵浦准分子激光在工业、医
【机 构】
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中国科学院合肥物质科学研究院安徽光学精密机械研究所
【基金项目】
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中国科学院科研仪器设备研制项目（YJKYYQ20210007）； 基础加强计划重点基础研究项目（2021-JCJQ-ZD-051-00-05）； 中国科学院青促会资助项目（No.2018481）； 国家自然科学基金（61307112）； 国家科技重
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准分子激光是大功率输出的深紫外波段激光光源，在多方面具有独特的应用，然而国内的准分子激光行业在关键技术、高端产品等方面和国外仍有一定差距，存在着“卡脖子”的状况。本文首先介绍了准分子激光的基本特性、应用分类、国内外的发展情况等；其次着重介绍了放电泵浦准分子激光的基本结构和目前实用器件的多项关键技术，主要包括快脉冲激励源、气体放电腔、光学谐振腔等几个方面；最后，文章介绍了放电泵浦准分子激光在工业、医疗、科研等领域目前的主要应用和进展，分析了其中的一些独特的关键技术。
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