【摘 要】
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激光在如今的LED革命中正变得越来越重要,成为提高LED的发光效率和降低制造成本的必要工具。准分子激光器提供了独特的大面积均匀照明,而且非常适合用于将LED外延片从蓝宝石
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激光在如今的LED革命中正变得越来越重要,成为提高LED的发光效率和降低制造成本的必要工具。准分子激光器提供了独特的大面积均匀照明,而且非常适合用于将LED外延片从蓝宝石基底分离的激光剥离技术。本文将讨论准分子激光剥离技术用于制造垂直型LED,以及该技术如何应用于氮化镓基LED和氮化铝基LED的生产。另外,对于刻划和切割一些与LED相关的材料：蓝宝石,硅,碳化硅,III族氮化物（氮化镓,氮化铝）以及III-V族半导体（砷化镓,磷化镓）,二极管泵浦固体激光器表现出很大的优越性。文中将讨论一些最新的激光划片技
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