三维寄生电容边界元计算的半解析积分方法

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在VLSI三维多介质互连寄生电容的边界元法计算中 ,利用互连结构特点 ,本文提出一种半解析积分方法 ,它应用原函数方法将二维面积分转化为一维线积分 ,再用一维高斯积分求出积分值 .与二维高斯积分相比 ,速度更快、精度更高 ,并改善了解的精度
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