大口径凸非球面面形检测方法研究

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提出了在非球面检验中以反射镜补偿法线像差的方法,用于大口径凸非球面透镜的检测,克服了在检测大口径非球面透镜时一般需要采用多片透镜补偿的困难,降低了设计难度和装调难度,节约了加工成本。设计并研制了大口径凸非球面透镜检测系统,对误差来源进行了分析并给出消除方法。对直径Φ270mm的凸非球面透镜进行检测,测得的非球面面形误差峰谷(PV)值与均方根(RMS)值分别为0.585λ和0.083λ。该方法为大口径非球面透镜检测提供了技术参考,能够适用于大口径透镜粗抛光阶段中的面形检测。 The method of compensating the normal aberration with a mirror in the aspheric test is proposed for the detection of a large-diameter convex aspherical lens, which overcomes the difficulty of reducing the need for multiple lens compensation in detecting a large-diameter aspheric lens The difficulty of the design and installation difficult, saving the cost of processing. A large aperture convex aspheric lens detection system was designed and developed. The source of error was analyzed and the elimination method was given. The convex aspheric lens with the diameter of 270mm was measured. The measured peak-to-valley (PV) and root mean square (RMS) values ​​were 0.585λ and 0.083λ, respectively. The method provides a technical reference for the detection of large-aperture aspheric lenses and can be applied to the detection of the surface shape in the rough polishing stage of large-aperture lenses.
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