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对小口径玻璃透镜热压成形模具的超精密平行磨削进行了试验研究，并对加工过程中的形状误差补偿技术进行了探讨。结合超精密平行磨削技术和形状误差补偿技术，选用经精密整形和修锐的微小砂轮，对直径和曲率半径均为10mm的小口径透镜模具样品进行了加工试验。试验获得的加工表面的表面粗糙度Ra=5．98nm、Rz=34．95nm，形状精度峰谷值为113nm、均方根值为23nm，其形状精度峰谷值及均方根值均较误差补偿之前有明显减小，加工过程中的残余形状误差得到了有效的修正和补偿，加工精度得到提高。