【摘 要】
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为了生长大晶粒的多晶硅铸锭，晶体从形核到后续生长的热场环境控制至关重要。本文首先在侧加热器与散热块之间加一可移动的隔热环。通过向上移动隔热环，并在底部喷射氩气冷却，对
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为了生长大晶粒的多晶硅铸锭，晶体从形核到后续生长的热场环境控制至关重要。本文首先在侧加热器与散热块之间加一可移动的隔热环。通过向上移动隔热环，并在底部喷射氩气冷却，对生长工艺进行优化控制。然后利用数值模拟，对改进后的生长界面形状、晶体和熔体中的等温线、晶体和熔体的轴向温度分布以及冷却量对生长环境的影响进行分析。模拟结果表明：冷却速率的最佳值在5-15W／m^2之间，且优化后的晶体和熔体中等温线更平坦，晶体轴向温度梯度增大约1．72K／cm，从而可有效地避免侧壁形核，促进大晶粒的生长，同时提高了生长速率。
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