多孔硅衬底上ZnS薄膜的PLD制备和表征

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在电化学阳极氧化法制备的多孔硅(porous silicon,PS)衬底上用脉冲激光沉积法(pulsed laser deposition,PLD)在250℃和350℃下生长ZnS薄膜。XRD图样显示,制备的ZnS薄膜沿β—ZnS(111)方向择优生长,较高的生长温度下,衍射峰强度较大。SEM结果表明,250℃生长的ZnS溥膜表面疏松、不平整,这是由于衬底PS的粗糙结构所致,而350℃生长温度下,尽管薄膜表面出现了一些明显尺寸的晶粒,但总体变得平整致密。室温下的此致发光(PL)谱表明,350℃样品中ZnS
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