【摘 要】
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本文主要说明用于半导体器件制造中的光掩模版的检查方法。因为被制造的光掩模的检查包括外观缺陷检查、尺寸测量、比较测量几个方面,所以根据各自的方法、设备及存在的问题
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本文主要说明用于半导体器件制造中的光掩模版的检查方法。因为被制造的光掩模的检查包括外观缺陷检查、尺寸测量、比较测量几个方面,所以根据各自的方法、设备及存在的问题加以归纳。特别是就最近几年在外观缺陷检查研究装置化、自动化问题方面,介绍一下各公司的研究、试制具体实例中存在的问题。
This paper mainly describes the inspection method of the photomask used in the manufacture of semiconductor devices. Since the inspection of the photomask to be manufactured includes appearance defect inspection, dimensional measurement, comparative measurement, etc., the method, the equipment and the existing problems are summarized according to the respective methods. In particular, in recent years in the appearance of defect inspection research equipment, automation issues, introduce the company’s research, trial production of specific examples of problems.
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英美文学课程的开展，有助于提升大学生的人文素质和语言应用能力。目前来看，英美文学在高校的开展并不顺利。高校可以从诗学视野出发来开展英美文学教学，从而提升大学生的语言技能，使其更好地理解英美文学内容。本文将从诗学视野指出现英美文学教学的缺点，同时针对现有问题提出解决方案。 英美文学作为我国高校外语系的主干课程之一，是一门专业性强、锻炼学生语言理解能力和应用能力的课程。国内各高校英语专业的英美文学课
“年级副校长”，又称“挂段校长”，顾名思义，就是负责一所学校某一个年级全面工作的副校长。年级副校长的工作职责，不同于学校的业务副校长、政工副校长、后勤副校长，其工作重心主要在年级。实行副校长联系下的年级主任负责制，年级副校长和年级主任一起管理一个年级，是某些学校行之有效的管理方式。 做好年级工作离不开两个抓手，一是班主任队伍建设，二是教师队伍建设。 众所周知，抓学生管理的关键在于抓班主任队伍建
本文提出了一种自差机的工程设计方法。它可以计算自差机的辐射功率P_Σ、电压传输系数K_u、目标作用下自差机输出的多卜勒信号V_(F_g)及自差机的灵敏度S_(A)。这些参量的解
本刊讯去年6月份,陕西省政府颁布了《陕西省收费证管理办法》。这是政府为了加强价格管理而出台的一部新规章,对各级物价部门加强价格管理工作具有十分重要的指导作用。为了
如何增强全民法治观念，推进法治社会建设？前不久颁布的《中央关于全面推进依法治国重大问题决定》提出了明确要求，其中有一条很引人注目：把法治教育纳入国民教育体系，从青少年抓起，在中小学设立法治知识课程。 习惯上，人们将法制与法治混为一谈，不加区分。其实两者既有联系又有区别，不容混淆。区别在于法制是法律制度的简称，属于制度的范畴，是一种实际存在的东西。我们通常所说的法制教育是指围绕法律制度的教育宣传。
今年4月，教育部召开专题会，研究部署义务教育免试就近入学。会议强调：坚持免试划片入学，淡化义务教育阶段学生竞争，引导学校实施素质教育;体现就近原则，尽量使片区科学合理;对于热点学校，要尽量扩大覆盖面，进行随机派位，做到机会均等;坚持阳光招生，确保整体工作在社会监督下进行，争得全社会的理解和认可;要明确县级主责，根据《义务教育法》确定的管理体制，县级教育行政部门要充分负起责任，具体操作义务教育招生入
相对而言,在近年中国及国际艺术市场的整体格局中,中国古典艺术、当代艺术(1949年新中国成立至今)成为市场中的强势“板块”,作为整体的民国艺术则始终处于“边缘”位置,拍品
教育部下发通知要求北京等19个重点大城市的义务教育在2015年实行免试就近入学政策。看似堵住了“递条子”“送票子”，没想到会衍生出更加疯狂的“拼房子”。很多重点小学、重点中学周边区域的学区房价格持续上涨，没有最贵，只有更贵：300万元买一个不足10平方米的“蜗居”，买了不为住，只为名校学位。 学区房如此狂飙般地猛涨，的确令人瞠目结舌，但买房者并非傻子，肯出这么多钱买一套蜗牛房，说明这个蜗牛房背后