【摘 要】
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本文介绍了发明专利—双阴极直流辉光放电装置的结构及其性能,由于实现了工作气压 P、工件沉积温度 T、工件负偏压 V 可以分别独立控制,因而能够分别单独调整,所以可以改善
【机 构】
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机械电子工业部沈阳真空技术研究所,机械电子工业部沈阳真空技术研究所,机械电子工业部沈阳真空技术研究所,机械电子工业部沈阳真空技术研究所,
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本文介绍了发明专利—双阴极直流辉光放电装置的结构及其性能,由于实现了工作气压 P、工件沉积温度 T、工件负偏压 V 可以分别独立控制,因而能够分别单独调整,所以可以改善膜层的性能。由于工件加热可以采用放电的辅助加热电极两种方式,
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