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采用自制的电解池用电化学腐蚀方法制备多孔硅，使用正交试验法设计阳极腐蚀参数。使用原子力显微镜研究多孔硅的微结构，分析并讨论了实验参数对多孔硅微结构的影响，确定了最佳制备工艺。
多孔硅的电化学形成及微结构研究
【摘 要】
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采用自制的电解池用电化学腐蚀方法制备多孔硅，使用正交试验法设计阳极腐蚀参数。使用原子力显微镜研究多孔硅的微结构，分析并讨论了实验参数对多孔硅微结构的影响，确定了最佳制
【机 构】
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燕山大学材料科学与工程学院,燕山大学电气工程学院
【出 处】
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燕山大学学报
【发表日期】
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2006年2期
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