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碳化硅是传统的磨料磨具材料,在材料磨削加工领域得到了广泛的应用。本文主要介绍碳化硅微粉新的应用领域——半导体线切割,主要用于切割各种尺寸的半导体硅单晶材料。
碳化硅微粉应用新领域——半导体线切割
【摘 要】
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碳化硅是传统的磨料磨具材料,在材料磨削加工领域得到了广泛的应用。本文主要介绍碳化硅微粉新的应用领域——半导体线切割,主要用于切割各种尺寸的半导体硅单晶材料。
【机 构】
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郑州大学材料工程学院,中原工学院机械工程学院
【出 处】
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佛山陶瓷
【发表日期】
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2005年02期
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