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用流体动力学方法研究了射频放电的动态演变过程。
射频等离子体放电动态过程的流体动力学模拟
【摘 要】
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用流体动力学方法研究了射频放电的动态演变过程。
【机 构】
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华中理工大学模具技术国家重点实验室
【出 处】
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华中理工大学学报
【发表日期】
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1998年A01期
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