3-巯基-1-丙烷磺酸钠复配添加剂对铜电沉积的作用及机理

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3-巯基-1-丙烷磺酸钠(MPS)、聚乙二醇(PEG)、Cl^-(MPS-PEG-C1)添加剂组合硫酸盐镀液常用于超大集成电路铜的超等角填充。采用极化曲线和电化学交流阻抗谱(EIS)研究了酸性硫酸铜镀液中MPS与PEG和Cl^-于一定浓度组合下对Cu电沉积的影响。极化曲线和EIS结果一致表明,MPS与PEG和Cl^-之间都存在协同作用,MPS-PEG阻化而MPS—Cl和MPS-PEG—Cl促进Cu的电沉积;低电位下,MPS和Cl^-,Cu^+/Cu^2+形成的中间产物吸附于电极表面;MPS阻化Cu的电沉积
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