TFT-LCD配向膜涂覆工艺中膜厚不均改善研究

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1引言TFTLCD生产工艺中,配向膜(Polyimide)厚薄不均在涂覆工艺中是常见的一种不良;局部范围内出现的配向膜厚度不均易产生黑白点、Mura(亮度不均一)等不良,影响产品良率,造成了严重的生产成本损失,目前解决配向膜厚度不均一已成为个急需解决的难题。
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