阻氚用Fe-Al渗铝层表面稳态相Al 2O 3膜生长机理研究

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为阐释Fe-Al渗铝层表面暂态相Al 2O 3膜向稳态相α-Al 2O 3膜的转变机理,探索稳态相α-Al 2O 3膜制备的氧化工艺参数范围,采用掠入射角X射线衍射仪、辉光放电光谱仪、聚焦离子束、透射电镜等,结合热重分析对CLAM钢基体Fe-Al渗铝层在940~980℃、1 Pa~20 kPa参数下的氧化生长行为进行了深入表征与机理分析。研究结果表明,在1 Pa~20 kPa氧分压范围内Al 2O 3膜生长初期反应速率常数随着氧分压的升高而增大,而后期反应速率常数反而随之下降;采用掠入射角X射线衍射仪对3
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