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用沟道离子注入法生成的稀土硅化物经背散射沟道分析，电镜分析和Ｘ射线衍射测试表明，它具有很好的结晶品质和很高的相稳定性。
用沟道离子注入法研制稀土硅化物
【摘 要】
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用沟道离子注入法生成的稀土硅化物经背散射沟道分析，电镜分析和Ｘ射线衍射测试表明，它具有很好的结晶品质和很高的相稳定性。
【机 构】
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北京大学
【出 处】
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核技术
【发表日期】
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1999年2期
【基金项目】
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中国与比利时科技合作项目,,国家自然科学基金！19775001
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