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综述了塑料基体低温沉积ITO薄膜国内外的最新研究现状,并指出了现在存在的问题,认为实现低温沉积、保证薄膜的光电性能和改善薄膜表面质量是3个关键技术.同时结合自己的研究工作,提出了相应的解决方法和建议.
塑料基体低温沉积ITO薄膜的研究
【摘 要】
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综述了塑料基体低温沉积ITO薄膜国内外的最新研究现状,并指出了现在存在的问题,认为实现低温沉积、保证薄膜的光电性能和改善薄膜表面质量是3个关键技术.同时结合自己的研究
【机 构】
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华中科技大学国家模具技术重点实验室·,表面实验室
【出 处】
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材料导报
【发表日期】
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2004年11期
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