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简要介绍了三温区设计中应该注意的几点事项和关键技术 ,并对该三温区的使用情况作了简单介绍。
HPLEC—SI—GaAs单晶炉三温区设计
【摘 要】
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简要介绍了三温区设计中应该注意的几点事项和关键技术 ,并对该三温区的使用情况作了简单介绍。
【出 处】
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半导体情报
【发表日期】
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2000年2期
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