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影响PCVD TiN涂层中Cl含量的因素
影响PCVD TiN涂层中Cl含量的因素
来源 :材料保护 | 被引量 : 0次 | 上传用户:ted_yu
【摘 要】
:
叙述了TiN沉积过程中影响Cl含量的主要参数(如:H2,温度等),得出了一些具有实用价值的结论。
【作 者】
:
李松辉
陈大凯
【机 构】
:
武汉市科学技术委员会,武汉钢铁学院
【出 处】
:
材料保护
【发表日期】
:
1994年8期
【关键词】
:
化学气相沉积
氮化钛
氯
含量
涂层
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叙述了TiN沉积过程中影响Cl含量的主要参数(如:H2,温度等),得出了一些具有实用价值的结论。
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